巴鲁夫BALLUFF位移传感器由机械结构上可以看出，影响振子振动主要有两个方面：一是片簧弯曲作用力对它的影响，但从计算?中可以知道，片簧产生的力比较小，从而使得片簧自振对振子振动影响很小；二是支撑弹簧的自振对它的影响，由于弹簧与振子是直接接触的并且弹簧受到压缩产生的弹力比较大，巴鲁夫BALLUFF位移传感器如果自振频率高于需要测的振动频率，那么就会影响振子振动的频率_5_5。装置中用来支撑振子平衡的六个弹簧对振子的振动是有影响的，巴鲁夫BALLUFF位移传感器当然也会对测量结果?产生一定的误差，这个影响主要是由于弹簧的自振对其影响比较大而造成的。

巴鲁夫BALLUFF位移传感器在机械结构的空间设计上，三维互相对称的结构保证了三维测量的情况尽量接近l2 J。在设计中，主要考虑了以下几个方面：一是振子 的平衡问题；二是振子的振动特性；三是如何能同时 测量三个方向上的振动情况而各个方向却互不影响； 四是片簧以及弹簧对振子的影响。巴鲁夫BALLUFF位移传感器三组弹簧也就是每一维方向上两个弹簧来支撑，前后 左右的四个弹簧无论长度与粗细都是一样的，上下两 个弹簧长度不同，但粗细也就是倔强系数是相同的。 这三组弹簧对振子起到支撑作用的主要是上下两个弹 簧，前后左右四个是保持其振动的平衡性，巴鲁夫BALLUFF位移传感器还可以通 过调节螺栓1(每个方向上都有2个)来保证振子处于某个平衡的位置。

巴鲁夫BALLUFF位移传感器现在测量一维振动的传 感器很多，采用的方式也很多，但是应用在微振动和 低频振动的却比较少，而测量三维振动的传感器就更 不多了。现有的测量三维瞬间振动和低频振动的测振 仪，主要应用在爆破测试方面，而测三维加速度的传 感器，测量和记录三个方面的冲击振动，主要运用在公路运输和货物运输等方面。巴鲁夫BALLUFF位移传感器这些三维测振传感器主 要是压电式，测高频振动和瞬间冲击的效果很好；因为半导体应变片作为力敏器件的一种， 其自身具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳 定性好、功耗低、寿命长、抗干扰性强、可靠性高等优点，巴鲁夫BALLUFF位移传感器能有效地测量微振动和低幅振动，而且体积比 较小，小于0．3m3，基本上实现了微型化，可以应用 在一些需要测量三维振动的微工作台和精密加工等方面。